1992-03_TU-Chemnitz_Membranen

 
Simulation des dynamischen Verhaltens mikromechanischer Membranen

Th. Fabula, A. Schroth

Institut für Mikro- und Informationstechnik
der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
Wilhelm-Schickard-Straße 10
W-7730 Villingen-Schwenningen, F.R.G.



Beitrag zur VDI-Fachtagung "Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik", Chemnitz, 17.-18. März 1992

Veröffentlicht in VDI-Bericht 960, VDI-Verlag GmbH, Düsseldorf 1992, 
ISBN 3-18-090960-9